Huawei a déposé un brevet pour un scanner EUV

L’entreprise chinoise, empêchée de faire fabriquer ses puces à des nœuds de pointe auprès de fondeurs comme TSMC, développe ses propres outils de production depuis plusieurs mois maintenant. Un brevet pour un scanner EUV récemment déposé lui permettrait de graver en 7 nm et moins.

Cela fait maintenant plus de deux ans que Huawei ne peut faire fabriquer ses puces de pointe par certains fondeurs, dont le taïwanais TSMC, en raison des mesures de restriction prises par l’administration Trump. Pour pallier ce problème, la firme chinoise collabore avec l’ICRD (Shanghai Integrated Circuit R&D Center) afin de développer ses propres scanners. À la mi-novembre de cette année, Huawei a fait une demande de dépôt de brevet auprès de la China National Intellectual Property Administration pour un scanner EUV (demande de brevet numéro 202110524685X).

Image 1 : Huawei a déposé un brevet pour un scanner EUV
© ASML

Cette demande de brevet semble couvrir tous les composants essentiels d’un scanner EUV : un générateur de lumière EUV de 13,5 nm (source lumineuse), un ensemble de miroirs réfléchissants, le système de lithographie et les technologies relatives à la métrologie.

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Des scanners EUV Huawei d’ici quelques mois ?

Naturellement, cela ne signifie pas que Huawei est déjà en mesure de construire et d’utiliser un scanner EUV à grande échelle. Outre la fabrication et la qualification du scanner, la production de masse nécessiterait de nombreux autres éléments, à commencer par des pellicules appropriées. Mais à l’évidence, l’entreprise semble sur la bonne voie pour y parvenir d’ici quelques mois ou années. Cela lui permettrait de fabriquer ses puces à des finesses de gravure inférieures à 7 nm.

Le leader mondial de la fabrication de scanners EUV est ASML, une entreprise hollandaise. Elle vend ses machines aux cinq fondeurs qui utilisent ou prévoient d’utiliser de tels scanners : TSMC, Samsung, SK Hynix, Micron et Intel. L’un des principaux fondeurs chinois, SMIC, ne peut en obtenir.

Comme l’écrit Anton Shilov de Tom’s Hardware US, un scanner EUV avec une ouverture numérique de 0,33 est à la pointe actuellement ; c’est le fruit d’une décennie de développement de la part d’ASML, avec le soutien financier d’autres sociétés comme TSMC, Intel ou Samsung. L’avenir nous dira si les équipes de Huawei réussissent à mettre aux points de tels scanners. Avec un chiffre d’affaires avoisinant les 100 milliards de dollars (contre un peu moins de 70 milliards pour Intel en 2022, environ 220 milliards pour Samsung), la firme chinoise a en tout cas une certaine assise financière pour y parvenir.

Sources : MyDrivers, Tom’s Hardware US